(Eng: microrobot) Een robot vervaardigd uit silicium met een grootte van enkele honderdste delen van een micrometer; een microrobot is een bewegende uitbreiding van de geïntegreerde schakeling en wordt geproduceerd met behulp van een foto-lithografisch proces. Microrobots worden gebruikt als sensoren (gevoelige aftastapparaten) en actuatore...